企业所得税专项设备税额抵免的处理，根据《中华人民共和国企业所得税法实施条例》及相关税收政策，企业购置用于环境保护、节能节水、安全生产等专用设备的投资额，可以按一定比例实行税额抵免。例如，如果企业购置的专用设备符合国家发布的优惠目录，可以按设备投资额的10%抵免当年的企业所得税应纳税额。如果当年的应纳税额不足抵免，剩余部分可以在以后五个纳税年度内继续抵扣。

在会计处理上，企业应根据《企业会计准则》的规定，当期应纳所得税额不足抵减的，可以确认为递延所得税资产。如果企业预计未来有足够的应纳税所得额来抵扣，那么在投资年度应考虑该投资抵免事项的影响，相应调整所得税费用和应交所得税。如果设备在抵免期间被处置或不再符合抵免条件，企业应停止享受所得税优惠，并补缴已抵免的税款，此时应确认递延所得税负债。

因此，企业在享受专项设备税额抵免时，需要结合税法和会计准则进行操作，并确保符合所有必要的条件和程序。