在审计过程中，如果采用电子形式的询证函获取回函，审计人员应当采取补充程序以验证回函的可靠性。这包括但不限于以下几点：

1. 验证回函信息：确保回函的发件人、地址与发函时的信息一致，回函应为原始发送的询证函的副本，而不是被修改的版本。

2. 评估电子渠道的安全性：确认电子函证的发送和接收途径是安全的，防止信息被拦截或篡改。例如，要求被询证者使用与被审计单位有日常业务往来的官方邮箱直接回复。

3. 对比信息：将电子回函信息与被审计单位的记录进行对比，检查是否存在不符之处，并对不符事项进行调查。

4. 跟进不符事项：如果发现回函与被审计单位记录有差异，应执行进一步审计程序，了解原因并评估潜在的错报风险。

5. 保持职业怀疑：对管理层不允许寄发询证函、不配合函证或有选择性地删减函证信息等情况保持警惕，必要时采取替代审计程序。

6. 获取其他证据：除了电子回函，还可以通过获取其他审计证据，如核对原始凭证、执行分析程序等，以支持回函信息的可靠性。

这些步骤有助于确保电子函证回函的准确性和完整性，为审计结论提供可靠的基础。